★ 概述。
   因為渦輪分子泵的級作業(yè)壓力較低 (10-1 ～ 1Pa) ，當僅用機械泵做前級泵時違背機械泵的有用抽速規(guī)模，影響系統(tǒng)的抽氣作用。此外，因為渦輪分子泵前級壓力低，前級泵油和分子泵本身軸承潤滑油的蒸氣返流率影響了分子泵進口的清洗程度。在某些范疇中 ( 如半導體、等離子體刻蝕等 ) ，渦輪分子泵滿足不了即要求高的本底真空，又需求在作業(yè)真空度規(guī)模內(nèi)具有較大的抽速和杰出的清洗條件的需求。這些都要求進步渦輪分子泵的前級壓力和較高進口壓力下的抽速，以習慣更多范疇的需求。所以大家經(jīng)過對渦輪分子泵和牽引分子泵的不斷研討改善，使用兩種分子泵的各自長處，將兩者聯(lián)系，提出了復合分子泵。 70時代初，法國的 Alcatle 公司首先研制成功 MODEL 型復合式分子泵。關(guān)于復合分子泵，國內(nèi)也進行了許多研討。于 80 時代末及 90 時代初，中科院北京真空物理實驗室和東北大學相繼研制出渦輪一盤式復合分子泵和渦輪—筒式復合分子泵。
★ 復合式分子泵的構(gòu)造特點
    復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的長處于一體。泵在很寬的壓力規(guī)模內(nèi) ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大進步了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司出產(chǎn)的一種選用氣體靜壓軸承和動密封的復合分子泵，能夠做到完全無油，且不必前級泵直接向大氣中排氣。復合式分子泵的方法許多，按構(gòu)造分，首先有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級首先用來進步泵的抽速，通常選用有利于進步抽速的葉片形狀，級數(shù)在 l0 級以內(nèi)。牽引級首先用來添加泵的壓縮比，進步泵的出口壓力。
    盤式牽引級是在平板圓盤平面上按必定規(guī)則開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速滾動的圓盤對氣體分子進行“拖動”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復折回的定向活動，然后到達抽氣目的。筒式牽引級是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開必定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。因為簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外外表或泵體內(nèi)外表上，因而能夠充分使用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，進步泵的抽氣作用。在規(guī)劃制作中，能夠經(jīng)過改動螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來到達較抱負的抽氣作用。
    在復合分子泵的規(guī)劃中，有必要處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和聯(lián)接聯(lián)系。因為渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種構(gòu)造的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的活動方法俄然改變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序成為無序，至使返流添加，抽氣才能降低。因而，在規(guī)劃時應(yīng)在渦輪級和牽引級變換處加上過渡級構(gòu)造，以進步泵的抽氣功能。隨著復合分子泵的不斷改善，其應(yīng)用范疇越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上能夠代替分散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時刻，并可取得無油污染的清洗真空環(huán)境。